当先进制程不断挑战摩尔定律的极限 「闸极长度」（Gate length）也是所谓的「制程节点」（Node），
从早期的90、65、45、22、14奈米，缩小到目前最新的制程2奈米、1奈米的同时：
1. 与产品直接接触的foup/cassette
2. 制程chamber的洁净度 3. Filter是否确实拦截微污染物 等等
都会对制程良率产生极大的影响 以往微米级的技术已无法满足奈米级的应用
如何有效且精准的获取微污染信息
TSI已经准备好对应
本文影片将带您了解TSI如何在奈米级的世界
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