當先進製程不斷挑戰摩爾定律的極限 「閘極長度」（Gate length）也是所謂的「製程節點」（Node），
從早期的90、65、45、22、14奈米，縮小到目前最新的製程2奈米、1奈米的同時：
1. 與產品直接接觸的foup/cassette
2. 製程chamber的潔淨度 3. Filter是否確實攔截微污染物 等等
都會對製程良率產生極大的影響 以往微米級的技術已無法滿足奈米級的應用
如何有效且精準的獲取微污染資訊
TSI已經準備好對應
本文影片將帶您了解TSI如何在奈米級的世界
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