光學檢測設備

高解析度Wafer把關平台

光學檢測設備

自動化的生產可以增加每坪效能增加產能,並提供精準且有效的判斷

Particle微塵, Air Pocket空孔, Stain污漬, Bump凸塊, Through-hole穿孔, Scratch刮傷

大於10um的瑕疵,都可以輕鬆地被設備找出

 

一目了然、極易上手的操作介面

紀錄Defect位置、尺寸、類型,並將每次的資料留存

高解析度

更小的pixel解析度使微小的Defect可以被有效地偵測

 
 

自動對焦

自動對焦讓影像清晰,判讀更準確

 
 

動態光源補償

光源、相機同步補償控制,克服光源不均的疑點